公司介绍 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

企业介绍

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创立于1958年。主要产品: 一、高端产业真空应用设备。晶体制备设备:蓝宝石晶体炉、碳化硅晶体炉、硅/锗单晶炉设备等;薄膜制备设备:电子束蒸发、磁控溅射、硬碳膜设备等;二、科研类真空应用设备:各种PVD、CVD薄膜制备设备，真空冶金设备等;三、干式真空获得设备:系列干式真空泵机组、涡旋干泵、螺杆泵、离子泵、超高真空插板阀，及真空部件等。

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